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...置ユーザが採用しています。 SEMI Sシリーズの構成 番号 タイトル SEMI S1 装置安全ラベルの安全ガイドライン SEMI S2 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン SEMI S3 プロセス用液体の加熱システムに関する安全ガイドライン SEMI ...
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...) Storage ambient temperature and humidity -20 to 65°C, 90% max. (with no condensation) Operating and storage atmosphere No corrosive gases Operating altitude 1,000 m max. Vibration resistance 10 to 60 Hz and at an acceleration of 5.88 m/...
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...こと） 使用雰囲気、保存雰囲気 腐食性ガスなどがないこと 使用高度 標高1000m以下 耐久振動 10∼60Hz、加速度5.88m/s2以下（共振点での連続使用は不可） 絶縁抵抗 電源端子／動力端子とPE間 0.5MΩ以上（DC500V） 耐電圧 電源端子／動力端子とPE間 AC1,500V 1分間（50/60Hz）...
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...) Storage ambient temperature and humidity -20 to 65°C, 90% max. (with no condensation) Operating and storage atmosphere No corrosive gases Operating altitude 1,000 m max. Vibration resistance 10 to 60 Hz and at an acceleration of 5.88 m/...
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...こと） 使用雰囲気、保存雰囲気 腐食性ガスなどがないこと 使用高度 標高1000m以下 耐久振動 10∼60Hz、加速度5.88m/s2以下（共振点での連続使用は不可） 絶縁抵抗 電源端子／動力端子とPE間 0.5MΩ以上（DC500V） 耐電圧 電源端子／動力端子とPE間 AC1,500V 1分間（50/60Hz）...
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...) Storage ambient temperature and humidity -20 to 65°C, 90% max. (with no condensation) Operating and storage atmosphere No corrosive gases Operating altitude 1,000 m max. Vibration resistance 10 to 60 Hz and at an acceleration of 5.88 m/...
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...と） 使用雰囲気、保存雰囲気 腐食性ガスなどがないこと 使用高度 標高1000m以下 耐久振動 10∼60Hz、加速度5.88 m/s2以下（共振点での連続使用は不可） 絶縁抵抗 電源端子／動力端子とPE間0.5MΩ以上（DC500V） 耐電圧 電源端子／動力端子とPE間AC1500V 1分間（50/60Hz） 保...
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...at 500 VDC (between each terminal and power supply) Dielectric strength 2,000 VAC, 50/60 Hz for 1 min (between each terminal and power supply) Vibration resistance 10 to 55 Hz, 1-mm double amplitude Shock resistance 10 G (approx. 98 m/...
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...と電源回路間） 耐電圧 AC2,000V 50/60Hz 1min （接点回路一括と電源回路間） 耐振動 耐久10∼55Hz 複振幅1mm 耐衝撃 耐久98m/s2 寿命 機械的100万回以上 （開閉ひん度1, 800回/時） 電気的10万回以上 （定格負荷） 使用周囲温度 −10∼＋55℃ 使用周囲湿度 45∼85％RH 質量 約215g 形61F-AN 交...
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...5 4 3 U 61F-11 Relay Unit 8V 200V U U Control circuit Power circuit Ta 7 8 1 2 Tc S0 Tb S1 E2 E1 S2 E3 Connection Sockets PF083A (Front-connecting) PL08 (Rear-connecting) (See note.) Contactor 2 Grounding protection Contactor 1 Retainers and electrodes M1 P1 E1 Water tank Motor protection relay Motor protection relay E3 E2 P2 M2 Water supply source Note: Be sure to ground the common Electrode E3 (the longest Electrode). Drainage Commercial voltage 200 VAC R S T The relay operation can be monitored if indicators are connected as shown by the ...
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...回路電源回路 Ta 7 8 1 2 S0 コンタクタ2 コンタクタ1 モータ保護リレー M1 Tc E2 E1 S1 S2 E3 接続ソケット形PF083A（表面接続用） 形PL08（裏面接続用） ※ 保護接地保持器＋電極棒 E1 水槽 モータ保護リレー P1 Tb E3 E2 P2 M2 給水源 ※コモン電極 （一番長い電極）...
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...24 V 61F-GL 0V 100, 110 or 120 V 200, 220 or 240 V 61F-11 U Relay Unit 8V 24 V 8V U Tb S1 S0 E2 E1 S2 Ta E3 Tc Tb S1 S0 24 V 8V U E2 S2 24 V Tc S1 S0 E3 Tb E2 S2 E1 E3 61F-GR 0V 100, 110 or 120 V 200, 220 or 240 V 61F-11H U Relay Unit Ta E1 61F-GD 61F-GH (See note.) 0V 100, 110 or 120 V 200, 220 or 240 V 61F-11L U Relay Unit U U Tc 24 ...
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...24 V 61F-GL 0V 100, 110 or 120 V 200, 220 or 240 V 61F-11 U Relay Unit 8V 24 V 8V U Tb S1 S0 E2 E1 S2 Ta E3 Tc Tb S1 S0 24 V 8V U E2 S2 24 V Tc S1 S0 E3 Tb E2 S2 E1 E3 61F-GR 0V 100, 110 or 120 V 200, 220 or 240 V 61F-11H U Relay Unit Ta E1 61F-GD 61F-GH (See note.) 0V 100, 110 or 120 V 200, 220 or 240 V 61F-11L U Relay Unit U U Tc 24 ...
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... U リレーユニット 8V 内部接続図 U U U U U U Ta Tc Tb E2 E1 Ta Tc Tb E2 E1 Ta Tc Tb E2 E1 S0 S1 S2 E3 S0 S1 S2 E3 S0 S1 S2 E3 注. 形式の□内はG、G1、G2、G3、G4およびI ＊1. 形式末尾のTDLは熱帯処理形（保管湿度45∼90％RH） を表わします。 （または芯線数が多く） なる...
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..., 50/60 Hz for 1 min. Life expectancy Electrical: 250,000 operations min. Mechanical: 10,000,000 operations min. Weight GN models: 315 g; G1N, G2N, IN models: 410 g; G3N models: 625g; G4N models: 870 g Internal Circuit Diagrams Example: 61F-GN ...
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..., 50/60 Hz for 1 min. Life expectancy Electrical: 250,000 operations min. Mechanical: 10,000,000 operations min. Weight GN models: 315 g; G1N, G2N, IN models: 410 g; G3N models: 625g; G4N models: 870 g Internal Circuit Diagrams Example: 61F-GN ...
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...気的25万回以上 機械的1,000万回以上 質量 GNタイプ： 315g G1N、G2N、IN： 410g G3Nタイプ： 625g G4Nタイプ： 870g （例）形61F-GN （例）形61F-GNL S2 S0 S1 Tb Ta Tc （例） 形61F-GNH S2 100V 24V 200V 8V 形61F-11N リレーユニット E1 E3 Ta Tc U 0V トランス 100V 24V 200V 8V 形61F-11NL U リレーユニット U E2 S0 S1 Tb...
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... wiring. 1 61F-UHS/-HSL Internal Circuit Diagrams 61F-UHS Tb 22 Tc 44 Ta 33 6 7 1 X/a Ground 8 Tb To each circuit Power circuit 88 S2 Constant voltage circuit E2 Relay Level detection circuit 77 Power supply Rectification smoothing circuit E1 To each circuit Surge-absorbing circuit 11 5 Operation power supply E3 S1 Power circuit 55 Level detection circuit ...
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... wiring. 1 61F-UHS/-HSL Internal Circuit Diagrams 61F-UHS Tb 22 Tc 44 Ta 33 6 7 1 X/a Ground 8 Tb To each circuit Power circuit 88 S2 Constant voltage circuit E2 Relay Level detection circuit 77 Power supply Rectification smoothing circuit E1 To each circuit Surge-absorbing circuit 11 5 Operation power supply E3 S1 Power circuit 55 Level detection circuit ...
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...,000V 50/60Hz 1min 電気的5万回以上、機械的500万回以上約380g 使用周囲温度使用周囲湿度絶縁抵抗耐電圧寿命質量 X S2 6 リレー 1 アース 8 X/a Tb 2 リレー各回路へ パワー回路 7 X レベル検出回路 AC100V または 200V E1 7 E2 8 S1 5 定電圧回路 パワ...