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... 約110μm×2.7mm 約φ110μm 分解能 *2 1.5μm 5μm リニアリティ *3 ±0.05%F.S.(40~50mm) ±0.1%F.S.(全範囲) ±0.1%F.S.(40~50mm) ±0.15%F.S.(全範囲) ±0.05%F.S.(65~100mm) ±0.1%F.S.(全範囲) ±0.1%F.S.(65...
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